真空開關(guān)的作用原理及類型介紹

• 時間：2014-12-13

真空開關(guān)是一種檢測真空度范圍的開關(guān)，又稱真空繼電器。其作用是：當實際工作中所產(chǎn)生的真空度達到規(guī)定要求時，自動開閉控制電路，發(fā)出電信號，指令真空吸附機構(gòu)正常動作。它屬于可靠性、安全性元件。 
真空開關(guān)分為機械式、半導體式和氣橋式三種類型。機械式真空開關(guān)是利用機械變位來確定真空壓力的變化，如膜片式真空開關(guān)。半導體式真空開關(guān)是利用半導體壓力傳感器來檢測真空壓力的變化，并能夠?qū)z測到的壓力信號直接轉(zhuǎn)換成電氣信號。如下圖為真空壓力開關(guān)